Il nostro Huyssenalimentazione sputteringadotta la tecnologia avanzata di modulazione dell'ampiezza dell'impulso PWM, utilizza IGBT o MOSFET importati come dispositivi di commutazione di potenza e ha le caratteristiche di dimensioni ridotte, peso leggero, piena funzionalità, prestazioni stabili e affidabili e processo di produzione rigoroso e perfetto.
La nostra serie diAlimentazione elettricai prodotti adottano un avanzato sistema di controllo DSP, che garantisce pienamente la ripetibilità del processo di rivestimento e ha le funzioni di soppressione della scarica dell'arco e della resistenza al cortocircuito del bersaglio e ha un'eccellente capacità di adattamento del carico, che non solo garantisce la stabilità della superficie del bersaglio processo di pulizia, ma migliora anche la velocità di pulizia della superficie target;I parametri principali possono essere regolati continuamente in un'ampia gamma;Manutenzione conveniente e alta affidabilità;L'interfaccia PLC e l'interfaccia RS485 espandono le funzioni per facilitare il controllo automatico.
Le caratteristiche principali sono le seguenti:
1. Adotta la modalità corrente avanzataalimentazione a commutazionetecnologia per ridurre gli elementi di accumulo dell'energia in uscita.Allo stesso tempo, migliora la velocità di soppressione della scintilla e del riavvio e presenta vantaggi più evidenti nel rivestimento del bersaglio in alluminio.
2. È disponibile la modalità a corrente costante/a potenza costante.Rispetto alla tradizionale modalità a corrente costante, la modalità a potenza costante, può garantire la ripetibilità del processo di rivestimento.
3. Ha caratteristiche di caduta ripida di tensione ideali e può identificare automaticamente la falsa accensione, soddisfa pienamente la continuità del processo di sputtering del magnetron.
4. Buona polverizzazione catodica, polverizzazione affidabile di vari obiettivi metallici o non metallici.
5. È possibile selezionare il controllo manuale/controllo dell'interfaccia analogica e l'interfaccia di comunicazione RS485.
6. IlAlimentatore CC magnetron sputteringè appositamente personalizzato per apparecchiature sottovuoto sperimentali, che è relativo alle apparecchiature di produzione, ridurrà il volume di energia e i costi per i clienti
7. L'estinzione del micro secondo arco può eliminare completamente il fenomeno dei prodotti difettosi causati dall'accensione.
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Tempo di pubblicazione: 31 ottobre 2022