Alimentatore DC con magnetron sputtering

Il nostro Huyssenalimentatore che sputacchiaadotta la tecnologia avanzata di modulazione della larghezza dell'impulso PWM, utilizza IGBT o MOSFET importati come dispositivi di commutazione di potenza e ha le caratteristiche di dimensioni ridotte, leggerezza, funzionalità completa, prestazioni stabili e affidabili e un processo di produzione rigoroso e perfetto.

La nostra serie diAlimentazione elettricai prodotti adottano un avanzato sistema di controllo DSP, che garantisce pienamente la ripetibilità del processo di rivestimento e ha le funzioni di sopprimere la scarica dell'arco e la resistenza al cortocircuito del bersaglio e ha un'eccellente capacità di adattamento del carico, che non solo garantisce la stabilità della superficie del bersaglio processo di pulizia, ma migliora anche la velocità di pulizia della superficie target;I parametri principali possono essere regolati continuamente in un ampio intervallo;Manutenzione conveniente ed alta affidabilità;L'interfaccia PLC e l'interfaccia RS485 espandono le funzioni per facilitare il controllo automatico.

Le caratteristiche principali sono le seguenti:

1. Adotta la modalità corrente avanzataalimentazione elettrica commutabiletecnologia per ridurre gli elementi di accumulo dell’energia in uscita.Allo stesso tempo, migliora la velocità di soppressione delle scintille e del riavvio e presenta vantaggi più evidenti nel rivestimento del bersaglio in alluminio.

2. È disponibile la modalità corrente costante/potenza costante.Rispetto alla tradizionale modalità a corrente costante, la modalità a potenza costante, può garantire la ripetibilità del processo di rivestimento.

3. Ha caratteristiche ideali di forte caduta di tensione e può identificare automaticamente la falsa accensione, soddisfa pienamente la continuità del processo di sputtering del magnetron.

4. Buono sputtering catodico, sputtering affidabile di vari bersagli metallici o non metallici.

5. È possibile selezionare il controllo manuale/interfaccia analogica e l'interfaccia di comunicazione RS485.

6. IlAlimentatore DC con magnetron sputteringè appositamente personalizzato per le apparecchiature sperimentali per il vuoto, che sono relative alle apparecchiature di produzione, ridurrà il volume di potenza e i costi per i clienti

7. L'estinzione del micro secondo arco può eliminare completamente il fenomeno dei prodotti difettosi causati dall'accensione.

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Orario di pubblicazione: 31 ottobre 2022