Il nostro Huyssenalimentazione a sputteringadotta la tecnologia avanzata di modulazione di larghezza di impulso PWM, utilizza IGBT o MOSFET importati come dispositivi di commutazione di potenza e presenta le caratteristiche di dimensioni ridotte, peso leggero, piena funzionalità, prestazioni stabili e affidabili e un processo di produzione rigoroso e perfetto.
La nostra serie diAlimentazione elettricaI prodotti adottano un sistema di controllo DSP avanzato, che garantisce pienamente la ripetibilità del processo di rivestimento e ha le funzioni di soppressione della scarica ad arco e della resistenza al cortocircuito del bersaglio, e ha un'eccellente capacità di adattamento del carico, che non solo garantisce la stabilità del processo di pulizia della superficie del bersaglio, ma migliora anche la velocità di pulizia della superficie del bersaglio; I parametri principali possono essere regolati continuamente in un'ampia gamma; Manutenzione conveniente e alta affidabilità; L'interfaccia PLC e l'interfaccia RS485 espandono le funzioni per facilitare il controllo automatico.
Le caratteristiche principali sono le seguenti:
1. Adottare la modalità corrente avanzataalimentatore switchingTecnologia per ridurre il numero di elementi di accumulo di energia in uscita. Allo stesso tempo, migliora la velocità di soppressione delle scintille e di riavvio, e presenta vantaggi più evidenti nel rivestimento in alluminio del bersaglio.
2. È disponibile la modalità a corrente costante/potenza costante. Rispetto alla tradizionale modalità a corrente costante, la modalità a potenza costante garantisce la ripetibilità del processo di rivestimento.
3. Presenta caratteristiche ideali di caduta di tensione ripida e può identificare automaticamente le false accensioni, soddisfacendo pienamente la continuità del processo di sputtering del magnetron.
4. Buona polverizzazione catodica, polverizzazione affidabile di vari target metallici e non metallici.
5. È possibile selezionare il controllo manuale/controllo dell'interfaccia analogica e l'interfaccia di comunicazione RS485.
6. IlAlimentatore a sputtering magnetron DCè appositamente personalizzato per apparecchiature sperimentali per vuoto, che è relativo alle apparecchiature di produzione, ridurrà il volume di potenza e i costi per i clienti
7. L'estinzione dell'arco in microsecondi può eliminare completamente il fenomeno dei prodotti difettosi causati dall'accensione.
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Data di pubblicazione: 31-10-2022